KW-4A数字型旋涂机

微电子和半导体行业专用 >> 旋涂薄膜制备

KW-4A数字型旋涂机

型号: KW-4A
产地: 济南
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产品介绍

旋涂机适应于半导体硅片，载玻片，晶片，基片，ITO导电玻璃等工艺，制版的表面涂覆。该产品具有转速稳定和启动迅速等优点，并能保证半导体材料中涂胶厚度的一致性和均匀性。通常配无油真空泵一起使用。

产品参数

1、调速范围和匀胶时间

Ⅰ档调速范围：50-8500转／分 Ⅰ档匀胶时间：0-999秒

Ⅱ档调速范围：1000-8500转／分 Ⅱ档匀胶时间：0-999秒

2、适用：Φ5-Φ120mm硅片及其它材料等匀胶。

3、双LED数字显示，带倒计时显示功能，转速稳定度：±0.1％，胶的均匀性：±2％。

4、单按键控制电机启动，暂停，复位，单片机延时控制电磁阀启动与停止。

5、电机功率：40W，单相100-240V供电

6、真空泵抽气速率≥60升／分

7、全机身采用不锈钢材质，防酸，防碱，防盐雾

8、仪器尺寸：210×220×160mm